Physik Instrumente（PI）位移台(tái)
納米定位壓電(diàn)彎曲(qū)平台(tái)
微型舞台(tái)
綫(xiàn)性平台
綫性執(zhí)行器(qì)
旋轉(zhuǎn)台(tái)
XY平台
PI的多(duō)軸壓(yā)電撓性位(wèi)移台允許在(zài)多達6個軸(zhóu)上以亞納(nà)米精度進行(háng)定位和掃(sǎo)描(miáo)，包(bāo)括，傾(qīng)斜和偏(piān)航(háng)運(yùn)動。版(bǎn)本範圍從緊湊(còu)的立方體(tǐ)設(shè)計到大(dà)孔徑(jìng)和薄型(xíng)。
XYZ掃(sǎo)描儀是(shì)定位技(jì)術的(dí)方位工(gōng)具(jù)。應用包(bāo)括樣(yàng)品調(tiáo)整(zhěng)，技術，光學(xué)計(jì)量，光纖(xiān)定位和(hé)光子學(xué)以及(jí)原子力(lì)顯(xiǎn)微鏡(jìng)。
所(suǒ)有(yǒu)壓(yā)電(diàn)納米定(dìng)位(wèi)係(xì)統均(jūn)已在(zài)工(gōng)廠校準，並(bìng)隨測量記(jì)錄一起(qǐ)提供。
P-733.3 XYZ壓(yā)電納米定(dìng)位器
應用領域
- 掃描顯微鏡
- 共(gòng)聚焦顯微鏡
- 掩膜/晶圓定(dìng)位(wèi)
- 表麵測(cè)量技(jì)術
- 納米壓印(yìn)
- 顯微(wēi)操作(zuò)
- 圖(tú)像處理/穩定(dìng)
- 納(nà)米定位具有很高(gāo)的平(píng)麵度(dù)和運動(dòng)平直(zhí)度(dù)
電容式(shì)傳感(gǎn)器(qì)的亞(yà)納米分辨(biàn)率
電(diàn)容式傳感(gǎn)器可在不接觸(chù)的情(qíng)況(kuàng)下(xià)以(yǐ)亞(yà)納米(mǐ)分(fēn)辨率(shuài)進(jìn)行測(cè)量。它(tā)們保證了(liǎo)的(dí)運動綫性(xìng)，長期(qī)穩定性(xìng)以及kHz範(fàn)圍內(nèi)的帶(dài)寬(kuān)。
自動(dòng)配(pèi)置和快(kuài)速的組件(jiàn)更(gēng)換(huàn)
機械和控製器(qì)可以根(gēn)據需(xū)要(yào)進(jìn)行組(zǔ)合並快速更換。所有伺服(fú)和(hé)綫性化參數都(dū)存(cún)儲在機(jī)械師D-sub連(lián)接(jiē)器的(dí)ID芯片(piàn)中(zhōng)。每次(cì)打開(kāi)控製(zhì)器時，數(shù)字控製器的自動校(xiào)準功能都(dū)會使(shǐ)用此數(shù)據。
適(shì)用於復雜的真空應(yīng)用(yòng)
壓電(diàn)係(xì)統中使用的所有(yǒu)組件都適合(hé)在真空(kōng)中(zhōng)使(shǐ)用。無需(xū)潤(rùn)滑劑或油(yóu)脂即(jí)可運(yùn)行。不含(hán)聚合(hé)物(wù)的壓(yā)電係統(tǒng)可實現極(jí)低(dī)的除氣率。
PICMA®壓(yā)電(diàn)執行器，使(shǐ)用(yòng)壽命長
獲得利的PICMA®壓(yā)電執行器是全(quán)陶(táo)瓷(cí)絕(jué)緣(yuán)的(dí)。這樣可以保護(hù)它(tā)們免受潮濕和泄漏電(diàn)流增(zēng)加引起的(dí)故障的影(yǐng)響。PICMA®執行器的(dí)使(shǐ)用壽命是傳統(tǒng)聚合物(wù)絕緣(yuán)執(zhí)行器的(dí)十倍之多(duō)。事(shì)實證(zhèng)明，沒有(yǒu)單(dān)一故(gù)障的1000億(yì)次循(xún)環。
零遊隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向(xiàng)精度高(gāo)
撓(náo)性(xìng)導(dǎo)板無維護，無摩(mó)擦和(hé)無磨(mó)損，並(bìng)且不(bù)需要(yào)潤(rùn)滑。它們(mén)的剛度允許高負(fù)載(zǎi)能力，並(bìng)且衝(chōng)擊和振(zhèn)動(dòng)不(bù)敏感。它們是(shì)100％真(zhēn)空(kōng)兼容的(dí)，並且(qiě)可在(zài)較寬的溫(wēn)度範圍內(nèi)工作。
平(píng)行(háng)位置(zhì)測量(liáng)，在(zài)納(nà)米範(fàn)圍內(nèi)具(jù)有很(hěn)高的跟(gēn)蹤(zōng)精度(dù)
所有(yǒu)的自(zì)由度(dù)均以單個固(gù)定參考(kǎo)為(wéi)參考。可以(yǐ)實時（取決(jué)於帶寬）主動(dòng)補(bǔ)償（主(zhǔ)動引(yǐn)導）軸之(zhī)間的(dí)不(bù)良串擾(rǎo)。即(jí)使(shǐ)在動態(tài)操(cāo)作中，也可(kě)以(yǐ)在(zài)納米(mǐ)範圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精(jīng)度(dù)。
P-733.3CD P-733.3CD P-733.3CL P-733.3DD P-733.3CL | P-733.3DD |
|---|
應用(yòng)領(lǐng)域：
- 六腳(jiǎo)架支持(chí)工業機器人(rén)
- 科學(xué)儀器
- 半導體(tǐ)技(jì)術
- 顯微鏡檢(jiǎn)查
- 矽光(guāng)子(zǐ)學
- 技術
- 材(cái)料研究
- 機(jī)械(xiè)工業
- 更(gēng)多其(qí)他產品的(dí)型號(hào)如下
- Physik Instrumente M-235.5DG
- Physik Instrumente FH430A69-05+197
- Physik Instrumente S-330.2SH
- Physik Instrumente PI E-727.3SDA
- Physik Instrumente PI E-727.3SD
- Physik Instrumente P-561.3CD
- Physik Instrumente E-727.3CD
- Physik Instrumente P-562.6CD
- Physik Instrumente E-712.6CD
- Physik Instrumente S-330.2SL
- Physik Instrumente E-501.00
- Physik Instrumente E-503.00S
- Physik Instrumente E-509.S3
- Physik Instrumente E-518.I3
- Physik Instrumente P-616.3C
- Physik Instrumente E-727.3CD
- Physik Instrumente E-873.1AT
- Physik Instrumente H-825.D2A
- Physik Instrumente C-887.52
- Physik Instrumente E-841.55
- Physik Instrumente E-831.05
- Physik Instrumente E-841.55
- Physik Instrumente N-565.160
- Physik Instrumente（PI）位移台
2022-09-22
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